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气压传感器是意法半导体MEMS产品的成员,累计出货量超过4亿。气压传感器LPS22HB于2014年发布,尺寸仅为2mm x 2mm,采用ST专利技术完全成型。
在正在进行的SensorTile开发竞赛中,许多开发人员已经为板上的LPS22HB提出了许多问题。这些问题具有代表性。以下是问题和相应的答案。ST气压传感器市场和应用。合作伙伴借鉴它。
问:与以前见过的气压传感器不同,这种压力传感器包非常特别。通常气压传感器有一个开口,内部有隔膜。隔膜似乎放在外面,或者是用于检测压力的白色可疑硅片?我真的想知道这种气压传感器的结构和原理。
答:传统的气压传感器只是在铁壳上有一个孔。 ST的全成型技术——采用通孔硅片来测量气压薄膜的单一结构。这项技术的好处:
1.保护内部焊线,提高耐腐蚀性
2.减少外部压力的影响
3.材料一致性可降低温度干扰
4.单片传感器
5.高抗爆压力 - 内部机械制动
6.良好的温度性能 - 相同的温度系数(仅硅)
7.更强大,更薄的气压传感器关于通孔硅胶:集成了表面保护硅晶片和内部检测膜。亮片上有6个小孔。如果放大,可以看到如果孔较小,则防尘特性得到改善。
问:我用放大镜看了一下表面。我没找到一个小洞吗?
答:放大倍数不够。附有LPS22HB孔位图,多孔设计,堵塞1-2不影响使用。通过IC蚀刻工艺冲孔以控制孔径和蚀刻深度。
问:LPS22HB的测量结果在第一天是正常的。第二天是错误的,气压传感器的范围是260~1260。现在测量值超出了范围。
答:气压计一般不放在通风口处,容易产生灰尘。看你的数据与正常情况有很大不同,似乎气压计硬件是异常的。正如其他人所说,如何清理或吹扫它,看看哪些情况可以恢复,然后进一步确定问题的原因。
问:测量结果每天都在同一高度变化。海平面气压的变化应与温度有关。有温度补偿算法吗?答:LPS22HBTR具有内置温度补偿功能。气压传感器高度仅用于测量相对高度的变化,无法准确测试海拔高度。可以使用以米为单位的误差计算高度。
答:压力值一直在变化。在同一个地方的同一个地方,气压值每天都不同,甚至1小时前和1小时后。这个是正常的。因此,气象局每天定期报告当地大气压力和海平面气压值。
问:气压是否随其他环境参数而变化?你能用气压测量绝对高度吗?
答:可以通过读取气象站数据或放置参考点来计算第二个校准气压传感器。
答:目前的气压传感器主要用于相对高度测量。通过补偿和气压传感器融合来解决气压误差。
气压传感器包含范围:
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